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        合肥真萍電子科技有限公司
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        石墨盤專用真空烤盤爐

         一.產品介紹

        真空烤盤爐是與MOCVD設備配套使用的爐體,爐內抽真空,被處理工件放置在爐膛內,采用清洗氣體加熱反應方式進行干式清洗(清洗氣體:N2,H2)。主要用于有效清除MOCVD承受器(SiC涂層石墨盤或石英盤)上的氮化鎵和氮化鋁等,可達到有效清潔處理,提高制品質量的目的。

        二、設計特點

        1、后門設計熱風電機

        2、降溫時風機開啟,同時兩端降溫封頭開啟,爐膛內產生如圖所示的氣體流向

        3、通過氣體介質將隔熱層內與水冷壁之間進行熱交換,達到快速降溫的目的

        三、技術指標

        使用溫度

        1450℃

        最高溫度

        1500℃

        絕熱材料

        石墨纖維毯、石墨紙

        馬弗材料

        SUS304

        加熱元件

        石墨加熱棒

        冷卻方式

        氣冷+循環風冷降溫

        控溫穩定度

        ±2℃,具有PID參數自整定功能

        爐膛溫度均勻度

        ±5℃(恒溫1550℃)

        控溫熱偶

        Wre5

        升溫速率

        15℃/min(空載)

        控溫點數

        1點

        降溫速率

        1450℃至80℃,240分鐘

        監測點數

        1點

        極限真空

        10-3torr級

        氣氛

        可向爐膛內通入干燥、潔凈、無油的高純度氮氣,純度≧99.999%

        抽氣速率

        空載下,30min達到10-2torr

        報警保護

        超溫、斷偶、停氣等聲光報警保護

        設備顏色

        電腦駝灰色

        電源

        容量大于160KVA,3相5線,220/380VAC,50Hz

        參考型號

        MOLKP-518W710×H710×D1000mm)

        MOLKP-1000(W1000×H1000×D1000mm)

        MOLKP-1200(W1000×H1000×D1200mm)

         


        本文學由合肥真萍電子科技有限公司原創,轉載時請注明熱風排膠爐網址:http://www.vertriebswissen.com/
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